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数字化工厂物流供应链联合创新典范，突破封锁助力中国芯

应用：半导体生产线对晶棒、晶圆片等原料的无人化智能上下料
应用：半导体生产线对晶棒、晶圆片等原料的无人化智能上下料
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用户是国内知名的半导体晶圆生产企业，近年来面对市场柔性化的生产需求，亟需提升厂内物料搬运的灵活性和稳定性。


挑战

针对晶圆昂贵且易碎的特性，用户需要实现平稳安全的配送。且无尘室的作业环境，产品加工工序复杂繁多，用户希望借助移动机器人来提升厂内物流配送效率，增强产线生产的灵活性和应变能力。


方法

用户部署了数台迦智EMMA400举升车、EMMA 400升降辊筒车、复合移动作业机器人和调度系统CLOUDIA。

根据下发的指令信息，EMMA400辊筒车前往原料库取出硅棒，送至粘棒间；EMMA400举升车将料盘分别在粘棒间、线切区域及脱胶清洗等各制造工序间流转；复合移动作业机器人则配合产线需要，进行晶圆半成品在各制造工作站间的自主转运和上下料。所有的机器人通过调度系统CLOUDIA的统一调度，高效协同作业，全程无人干预。


成果

项目成功实施后，用户改善了产线产能，提升了产线智能化水平，实现灵活移动、精密上下料，极大提升了生产柔性。


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